抽空

就抽提工艺而言,真空技术的应用体现在哪些方面?
容器抽空,即抽除密封容器中的空气或气体,是真空技术最为广泛的应用之一。这类应用种类繁多。
所谓抽空,在多数环境空气工业应用中,一般理解为排空物理空间内的气体。当环境空气或氧气的存在对制造或测试工艺产生干扰时,常需要进行抽空。
根据应用的不同,对真空度的要求也不尽相同,从中央真空系统要求的低真空到半导体生产硅片涂层的高真空。

 

凯利特真空技术在抽气工艺中的常见应用范例:
? 真空包装——包装腔体抽空(见"真空在包装工艺中的应用")
? 容器真空系统——真空容器长期保持真空度
? 热处理——真空炉抽空
? 表面涂层——镀膜室抽空
? 模具排气——铸造质量优化
? 空间模拟——空间模拟室抽气
? 传送室——晶片生产
? 工艺室——主要用于半导体生产

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